模块化气体系统

06/24/2020
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简介

 

 

模块化气体系统 (Integrated Gas System) 是一种半导体行业用于气体控制的设备。随着半导体制程工艺越来越先进,对气体控制设备的要求也越来越高。

 

FITOK 模块化气体系统采用符合 SEMI 标准的表面安装元件,进行模块化设计,在缩小设备体积的同时,安装和维护反而变得更简单。

 

飞托克单流路系统

单流路系统

 

特征

 

 

  • 模块化设计 - 缩短设计时间
  • 根据客户 PID 图,用标准的基块、阀门(隔膜阀、单向阀、减压阀)、流量计、过滤器、压力传感器等元件,在面板上采用搭积木的方式即可完成设计。

     

  • 表面安装 - 易于安装和维修
  • 所有元件均采用符合 SEMI 标准表面安装方式(1.125" W 型/C 型密封、1.5” W 型/C 型密封),用简单的工具即可完成安装和后期的维修。

     

  • 小型化
  • 体积约为传统面板的 1/3,相应的流道尺寸也缩小,对沾污控制更有利。

     

  • SEMI 标准材料、电解抛光工艺和轨道焊
  • 浸润部件均采用符合SEMI标准的不锈钢材质,流道均经过电解抛光(Ra 0.13),接头处均采用轨道焊。

     

  • W 形/C 形密封
  • 元件与基块之间的密封均采用 W 形密封(W-seal)或者 C 形密封(C-seal),都为金属硬密封,密封部位和受力部位是分离的,能够达到最优的密封效果。

     

    飞托克,9流路模块化气体系统

    9流路模块化气体系统

     

    飞托克,7流路模块化气体系统

    7流路模块化气体系统

     

    订购说明

     

     

    FITOK 可根据客户 PID 图设计和供货模块化气体系统,其中过滤器、压力传感器和流量控制器可由客户提供或 FITOK 按客户提供品牌采购。

     

    请查看模块化气体系统样本了解更多信息。如果您有任何疑问,请在线留言,我们将尽快与您取得联系!