新产品发布:飞托克真空发生器

06/07/2024
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真空发生器用于产生真空和吹扫管道系统,广泛应用于半导体行业。飞托克于近期新推出3个系列的真空发生器:VGB 系列、VGM 系列和 VGC 系列。VGB 系列和 VGM 系列主体结构相似,区别是 VGB 系列的进气口和排放口有多种接口形式可供选择,而 VGM 系列的进气口和排放口的接口形式和尺寸都是固定的。此外,VGC 系列将文丘里管、气动阀和单向阀集成于一体,结构紧凑。

 

VGB 和 VGM 系列真空发生器

 

 

VGB 和 VGM 系列真空发生器

 

特征

 

  • 全焊接结构,提升密封性能,延长使用寿命
  • 机械抛光,浸润面粗糙度 Ra 0.38 μm (15 μin.)
  • 去离子水配合超声波清洁,适用于半导体超高纯应用
  • 在 ISO 4 级 (FS 209E 10级) 洁净室完成最终包装

 

技术参数

 

 
氮气进口压力 4.8 ~ 7.6 bar (70 ~ 110 psig)
最大真空度 -88 kPa (-26 in. Hg)
工作温度 -40 ~ 71 °C (-40 ~ 160 °F)
真空端口最大压力 241 bar (3500 psig)
耐压压力 (真空口) 345 bar (5250 psig)
爆破压力 (真空口) 690 bar (10500 psig)
泄漏率 (氦气) Inboard ≤ 2×10-10 std cm3/s
Outboard

 

VGC 系列真空发生器

 

 

VGC 系列真空发生器

 

特征

 

  • 气动阀门控制文丘里管的氮气供给
  • 单向阀防止逆流至氮气进口
  • 常泄选项可以持续向管路通入惰性气体
  • 去离子水配合超声波清洁,确保高纯度

 

技术参数

 

 
氮气进口压力 4.8 ~ 7.6 bar (70 ~ 110 psig)
最大真空度 -88 kPa (-26 in. Hg)
工作温度 -10 ~ 71 °C (14 ~ 160 °F)
真空端口最大压力 241 bar (3500 psig)
耐压压力 (真空口) 345 bar (5250 psig)
爆破压力 (真空口) 690 bar (10500 psig)
泄漏率 无可见气泡冒出
开启压力 (单向阀) 0.2 bar (3 psig) 压差
开启压力 (气动阀) 4 ~ 7.6 bar (60 ~ 110 psig)
常泄选项 CB025 1 ~ 2.5 slpm @ 5.5 bar (80 psig) N2
CB050 2 ~ 5 slpm @ 5.5 bar (80 psig) N2
CB080 5 ~ 8 slpm @ 5.5 bar (80 psig) N2
CB150 10 ~ 15 slpm @ 5.5 bar (80 psig) N2

注:
① 开启压力为公称值,视具体应用而定。
② 常泄选项的单向阀带泄放孔。

 

除真空发生器外,飞托克还可提供其他各类隔膜阀(DQ、DP、DH、DM、DS、DR、DV、DL、DF、DE、DK 和 ALD 系列)、减压阀(RDGC、RDCC、RTGC、RTCC 系列)、高纯球阀(BGP、BHP、BDP、BRP 系列)、洁净管(TBA、TEP 、PEP 和 TCA 系列)、超高纯压力表 GP 系列、气体控制组件(AGH 和 AGL 系列)等,满足半导体制造等行业对流体系统元件的严苛要求。

 

请查看真空发生器 VGB 和 VGM 系列样本VGC 系列样本了解更多信息。如果您有任何疑问,请在线留言,我们将尽快与您取得联系!

 

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